鹽城日泰氫氣純化裝置（電加熱管，防爆電加熱器）屬于干燥塔防爆電加熱器氣體純化裝置技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

2.隨著集成電路等行業(yè)的高速發(fā)展，在集成電路成品制作工藝過(guò)程中對(duì)使用氣體純度的要求越來(lái)越高，雜質(zhì)要求小于1ppb。目前的氫氣純化技術(shù)多采用前端催化后端干燥吸附的技術(shù)，前端催化工藝可使雜質(zhì)反應(yīng)生成二氧化碳和水，后端深度吸附工藝吸附脫除二氧化碳和水等雜質(zhì)。此技術(shù)雖然在一定程度上脫除雜質(zhì)烴類、一氧化碳、二氧化碳和水，但脫除深度已經(jīng)不能滿足生產(chǎn)使用需求，為此針對(duì)上述問(wèn)題，設(shè)計(jì)一種氫氣純化裝置很有必要。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

3.對(duì)上述背景技術(shù)所提及的技術(shù)問(wèn)題，而采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：
4.氫氣純化裝置，包括罐體，所述罐體的內(nèi)部設(shè)有純化罐，所述罐體的內(nèi)部還設(shè)有換熱器，所述純化罐的底部通過(guò)導(dǎo)管與換熱器相連通，且所述導(dǎo)管的一端與氣動(dòng)隔膜閥相連通，所述氣動(dòng)隔膜閥的另一端連通有進(jìn)氣管，所述純化罐的頂部連通有第二導(dǎo)管，所述第二導(dǎo)管與換熱器相連通，并所述第二導(dǎo)管的一端連通有第三氣動(dòng)隔膜閥。
5.作為優(yōu)選實(shí)例，所述罐體包括內(nèi)筒和外殼，所述內(nèi)筒套設(shè)在外殼內(nèi)，所述外殼與內(nèi)筒二者之間設(shè)有空隙，所述內(nèi)筒的外側(cè)壁上連通有第三導(dǎo)管，所述第三導(dǎo)管的一端貫穿空隙和外殼，并連通有手動(dòng)閥，器貫穿空隙和外殼的第三導(dǎo)管的端部分別連通有兩個(gè)第四導(dǎo)管，其中一個(gè)所述第四導(dǎo)管上安裝有第二手動(dòng)閥，另一個(gè)所述第四導(dǎo)管上安裝有液位表，兩個(gè)所述第四導(dǎo)